在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统需要先用高纯氮置换，再用高纯---置换。
8、防止气体在低凹处积聚，用排风机将漏出气送至空旷处。高纯---气是单原子稀有气体分子，是一种无色、无味、---的不燃烧的储存于气瓶中的高压气体，常温下为气态的惰性气体.高纯---气临界温度低，氢气氧气，是难液化的气体，极不活泼，不能燃烧，也不助燃.进行低压放电时显深黄色.---具有特殊的物理性质，在零度时，在其蒸气压下，---不会固化。
（1）对不同性质的，要规划一个独的立的供气区，一般分为三个区：腐蚀性/有毒性气体、可燃性气体、惰性气体区域，将同一浓度加强管理和可燃气体区，工业氧气，以专门规划爆的破墙和渗漏，如果空间缺乏，能够考虑。放置惰性气体和有毒腐蚀性气体区域。（2）管道规划需求考虑运送距离，距离越长，本钱越高，老河口氧气，危险越大，高纯氧气，一般规划流量越合理，20ml/s，可燃气体小于10ml/s，有毒/腐蚀性气体小于8ml/s，在运用中规划该方面，需求考虑运用对等压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者管径一般指向运用的1/4“~3/8”。
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